設備主要參數          V-SR-100                 V-SR-200
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測量方式            可見 VIS，反射R       紫外UV， 可見 VIS，反射R
波長范圍              380--1050nm             250--1050nm
厚度測量             15nm～250um              2nm--200um
光源                       鎢鹵燈                    鎢鹵燈+氕氘燈
重復精度                                  0.1 nm
測量時間                                  ＜ 1秒
準確性                                2nm  或＜0.5%